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大行程三维精密压电平台

点击次数: 更新时间:2021-05-06

P12.XY500Z800为大行程XYZ三维运动扫描台,平台采用机构放大设计原理,中心具有通孔,非常适用于近场扫描、共焦显微等应用。该系列扫描台XY轴程可达500μm,Z轴直线运动行程可达800μm。

 

中心通孔适配器为标准螺纹牙W0.8×1/36"便于与显微镜集成安装。可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。平台内部采用有限元分析(FEA)优化的线切割挠曲铰链结构。FEA使其设计具有尽可能高的刚度,并使线性和角度跳动最小化。开环、闭环可选,真空版本可选。

特点

 XYZ三维直线运动

• XY行程500μm,Z向行程800μm

 适用于物镜的三维定位调节

 可定制真空版本

 

开闭环曲线

P12.XY500Z800 XY轴电压位移开闭环曲线。

 

技术参数

型号P12.XY500Z800

运动自由度XYZ

XY行程范围(0~150V)500μm/轴

Z行程范围(0~150V)800μm

闭环传感器类型SGS

XY轴/开环分辨率20/5nm

Z轴/开环分辨率30/8nm

XY静电容量28.8μF/轴

Z静电容量43.2μF

承载能力250g

重量1000g(不含线)