压电物镜扫描器的安装精度直接决定了其扫描性能的发挥。安装前需确保显微镜平台平整稳定，避免振动和倾斜影响扫描精度。对于正置显微镜系统，扫描器应垂直安装于物镜转盘上，确保光轴与物镜中心对齐；对于倒置显微镜，扫描器需通过专用支架固定于载物台下方。安装过程中需使用水平仪校准扫描器姿态，确保Z轴运动方向与光轴平行，避免离轴运动导致图像畸变。扫描器与物镜的连接采用分离式螺纹适配器设计，可适配多种尺寸物镜头，安装时需拧紧固定螺钉，防止松动产生回程间隙。
位移校准是确保扫描精度的关键环节。参考标记法是较常用的校准方法，在物镜台上设置固定参考标记(如刻线或小孔)，通过控制扫描器移动到不同位置，使用高精度测量工具测量参考标记与目标位置之间的距离，与控制参数进行对比，计算出误差并进行修正。对于更高精度的校准需求，可采用激光干涉仪校准法，将激光干涉仪的测量头对准扫描器的反射面，当扫描器移动时，干涉仪输出位移信号，根据信号与设定值的比较结果调整驱动参数。这种非接触式测量方法可实现亚纳米级的校准精度，特别适用于超高分辨率成像应用。
焦距校准同样至关重要。自准直法通过在物镜前放置平面反射镜，调整物镜移动直到观察到清晰的反射像，此时物镜位置即为焦距位置。成像清晰度法则通过观察已知图案标本的成像清晰度来调整焦距，逐渐移动扫描器直到图像较清晰。校准过程中需在恒温、低振动环境中进行，避免温度波动导致金属部件热胀冷缩或气流扰动影响成像稳定性。校准完成后需进行重复性测试，连续多次重复调焦过程，记录焦点位置偏差，要求标准差不超过系统标定值。通过系统的安装与校准流程，可将压电物镜扫描器的理论精度转化为实际应用中的可靠性能。
