新闻资讯

返回

压电扫描台设计是为了满足超快速度和超精密的应用

点击次数:185    发布时间:2020-02-05

压电扫描台设计是为了满足超快速度和超精密的应用

   压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动,可以实现zui大370μm的扫描范围,运动直线性好,可选择闭环版 本获得优异的线性度与重复定位精度。在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动,从而优化镜片读取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。
 
  全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计,电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用,而且拥有极高的精度,可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器,纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。
 
  芯明天P18.XY300压电扫描台以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用 于纳米光刻实验。台体采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷,可以实现X、XY、XYZzui大370μm 的高速扫描,zui大通光孔径为?35mm,多种位移行程及规格型号可供选择,适用于大行程多维扫描等应用。
 
  压电扫描台设计是为了满足超快速度和超精密的应用。纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。该产品具有良好的位置重复性。拥有良好的响应速度,响应时间达到毫秒量级。并且该款产品可按照不同需求进行工业定制。