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为何说压电扫描台的动态性能好?

点击次数:150    发布时间:2020-04-07

   压电扫描台是用于样品显微成像的Z向运动压电扫描台,称之为压电显微样品台,Z向扫描台,Z向行程可达500μm。Z向扫描台是专为生物医疗应用而设计的用于样品显微扫描的一维Z轴压电扫描台,它的外形结构易集成于显微仪器设备中。
  压电扫描台的应用:
  显微成像、生物技术、超分辨率显微镜、光学圆盘显微镜、共聚焦显微镜、3D成像、筛选、干涉测量、测量技术、自动聚焦系统、半导体测试等。
  压电扫描台为XY轴平移扫描台,采用XY轴一体式结构设计压电陶瓷直驱机构,中心具有通孔尺寸为25×27.5mm,产品体积小巧、性能稳定,N65系列扫描台为开环版本、动态性好,适用于动态扫描应用领域及低温环境。
  压电扫描台刚度大、分辨率高、谐振频率高、动态性能好。
  采用压电陶瓷直驱机构设计,内置高性能压电陶瓷,产品体积小巧、结构紧凑,台面四角配有通孔,便于集成与安装。
  压电扫描台以开环版本为主,具有超高的分辨率,可达0.2nm。优异的结构设计使其具有3N/μm的高刚度,XY轴空载谐振频率均可达到1KHz,该产品是高速扫描应用的理想选择。
  扫描台配套大功率E00/E01系列压电控制器,可实现满幅值阶跃时间为1.5ms。