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飞秒激光微加工技术与压电扫描台有何关联?

点击次数:111    发布时间:2020-10-18

    压电扫描台是专为需要大通光孔径、大位移行程的应用而研发设计的二维扫描台。台体采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷,可以实现XY轴210μm的扫描范围,通光孔为60×60mm,内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化结构,具有超高的导向精度。
  如今的各种激光器已经被广泛应用于各个工业及医疗领域,而飞秒激光作为微加工等领域的理想光源,正逐渐引发市场的高度关注。飞秒激光微加工的过程是将被加工的目标元件固定在压电扫描台上,将激光光束聚焦在准备加工的轨迹始端,调节激光能量,按照预先设计好的轨迹移动二维压电扫描台进行加工,由于压电扫描台的分辨率可达到纳米级,精度非常高,所以这能大大提高飞秒激光加工系统的加工精度。
  飞秒激光结合高精度压电扫描台加工各种材料的微加工方式,作为激光加工技术领域的一个分支越来越受到广泛的关注。高精度压电扫描台以其精度高、性能稳定等特点已被广泛应用于激光加工领域。
  此外,压电扫描台还适用于需要大行程高精度的应用,该产品已经成功应用于半导体测试、表面结构分析、显微成像等领域。与压电物镜定位器配套用于晶圆定位,可带动晶圆做XY轴210μm行程范围的纳米级精密定位。