压电纳米定位台工作时，原子力探针的针头部置于干涉显微镜的光轴上，产生干涉条纹由CCD接收，当XY二维压电纳米定位台带动样件移动时，表面高度变化，引起原子力探针变化，其变化量由白光干涉条纹计量。当原子力探针的变化量超过预定阈值，Z向压电陶瓷启动，将原子力探针拉回原位，实现原子力探针的跟踪测量。

 

　　叠堆型压电促动器是利用纵向压电效应将电能转化为位移动力等机械能的陶瓷元件，采用高应变率的压电陶瓷材料，以及元件结构设计，外形更小，形状各异，造型丰富，应用范围涵盖各种装置的准确定位或驱动源等，用途广泛。基于他们的设计，非常适合易于集成到特定的客户系统中。它们外部表面是由一个灵活的绝缘材料构成，具有灰色树脂与绿色树脂两种版本规格。

 

　　叠堆压电陶瓷驱动器产品在结构上面对抗拉力的耐受度低，如果施加拉力，则有可能发生故障（损坏）。若在使用过程中，施加压缩力，则能有效防止机械性损坏。对元件施加的压力，请以元件的输出力的20~50%为参考值。安装时，请使元件的位移发生轴与安装面保持垂直。协助配合压电陶瓷的安装，可选择球头端或扁平面钨钢合金进行安装操作。

 

　　压电纳米定位台系统，磁滞严重降低其定位精度。基于磁滞逆模型的定位控制方法，可提高定位精度。然而，因其对模型依赖大，无法在内、外扰动因素存在时，仍保证良好的定位效果。为此，视磁滞为干扰，设计不基于磁滞及定位系统数学模型的自抗扰控制，利用扩张状态观测器主动估计磁滞，并实时补偿之，以保证定位精度。