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光路调整中,可以利用哪些压电微纳米运动产品工具?

点击次数:622    更新时间:2022-11-24

光是一种电磁波,电磁波具有幅度、频率、相位等特点,通过调节电磁波的这三种特性,可以表达不同的状态,通常称为调幅、调频、调相。

光学科学与许多学科相关,包括天文学、各种工程领域、摄影和医学(尤其是眼科和验光仪,称为生理光学)。在各种技术和日常物体中也都可以找到光学的实际应用,包括镜片、镜头、望远镜、显微镜、激光器和光纤等。

在各种光学的应用中,想利用光达到应用的目的,就需要对光进行控制,包括方向、相位等。而这些调整控制,都需要相应的调整工具。并且,因光的波长一般在微米、纳米间,因此对光的参数调整,通常要求非常高的精度。

芯明天专注于压电纳米运动与控制系统,专为高精度的运动控制提供解决方案。在光路调整中,可以选择芯明天的哪些压电微纳米运动产品?



光路的方向控制(光路偏转)


光路的方向是指光传输的方向,光路的方向控制是指改变光的传输方向。可以选择以下几种产品对光路的方向进行调节。





压电偏转镜应用于快速光路偏转


芯明天压电偏转镜内部采用差分控制方式,驱动内部压电陶瓷以推拉形式运动,使得压电偏转镜的移动平面产生偏转运动。它的特点是偏转速率快、偏转分辨率高,分别可达毫秒量级、纳弧度量级。


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芯明天压电偏转镜可产生θx、θy两轴偏转运动,也可选配Z向直线运动。运动效果如下所示。

压电偏转镜的特点使其非常适用于光路的方向控制,且它的反应迅速,使得它的应用范围非常广泛,从科研到工业,再到宇航,都有压电偏转镜的身影。例如,在科研的激光光路稳定实验中光路的控制,工业应用里激光加工中光路的控制,宇航中的激光通信、图像稳定的光路控制等。


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型号举例

型号
类型
偏转范围
分辨率
P32
三维运动
0~15mrad
0~55μm
0.05~0.4μrad
0.5~2nm
P33
多功能型
0~10mrad
0.02~0.3μrad
P34
大负载型
0~5.6mrad
0.1~0.2μrad
P35
大角度型
0~43mrad
0.3~1.2μrad
P35A
大角度型
0~43mrad
0.4~1.2μrad
S22
θx偏转
0~3mrad
0.03~0.08μrad
S23
中空型
三维运动
0~1.5mrad
0~10μm
0.02μrad
0.08nm
S30
高动态
0~3mrad
0.02~0.1μrad
S34
大负载
0~2.5mrad
0.02~0.07μrad
S37
抗振型
0~13.5mrad
0.03~0.35μrad
S38
小体积
0~2.4mrad
0.01~0.07μrad
XD304
高动态
0~2.4mrad
0.01~0.07μrad

芯明天已为多颗卫星提供压电偏转镜及低功耗、小体积板卡式控制系统,其中有搭载激光通信系统的低轨卫星、搭载激光通信系统的高轨卫星、搭载成像仪的低轨卫星、搭载磁象仪的低轨卫星、搭载导航系统的高轨卫星以及其他商业卫星等。芯明天已形成涵盖工业级、*品级、宇航级多个系列的高可靠性压电偏转镜与驱动控制产品。





压电偏摆台应用于光路偏转


压电偏摆台的原理与压电偏转镜的原理基本相同,但两者间的外观不太相同。压电偏摆台是专为面积较大的反射或透射镜片而设计。它具有中心通孔,且孔径较大,可达96mm×96mm,可带载的镜片尺寸达110mm×110mm。


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压电偏摆台的运动轴为θx、θy,偏转行程一般约为2mrad。压电偏摆台也可选择Z向运动。它的运动效果如下所示。


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压电偏摆台非常适用于远距离激光合束对准应用,可将对准分辨率保持在0.01秒。



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压电偏摆台的出厂前测试


型号举例

型号
运动轴
行程范围
承载
能力
分辨率
S51.ZT1
θxθy
Z
0~2.2mrad
0~100μm
1
kg
0.05~0.25μrad
4~7nm
S51.ZT1-C1
θxθy
Z
0~2.2mrad
0~110μm
2.5
kg
0.05~0.25μrad
4~7nm
S51.ZT2-C1
θxθy
Z
0~4mrad
0~240μm
1.5
kg
0.06~0.15μrad
2~7nm
S54
θxθy
0~2mrad
1
kg
0.05~0.25μrad





二维偏转压电镜架应用于自动光路偏转


二维偏转压电镜架的偏转动作是基于两支压电螺钉来驱动完成,两轴间采用共轴心点,每支压电螺钉的直线运动控制了相应轴的偏转角度及方向。


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二维偏转压电镜架与压电偏转镜相比,它具有更大的偏转范围,但它的偏转速度相对压电偏转镜要慢的多。

运动效果如下图所示。

型号举例

型号
偏转
范围
卡装镜片直径
分辨率
T25N81K8
±5°
25.4mm
0.7μrad
T25N81K8-C
±2°
12.5mm
0.7μrad
T50N81K13
±5°
50.8mm
0.7μrad
T100N81K13
±3.5°
101.6mm
0.7μrad





压电宏微复合式移相器用于光路调节


压电宏微复合式移相器是手动偏转调节与直线压电促动相结合,手调偏转部分具有多种调节架可选。直线压电促动器部分也具有多种选择,可选大位移或小位移型。直线压电促动器部分,大位移版本可达百微米范围以上,小位移版本位移约1μm左右。


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该压电移相器是专为光学相移应用而设计,它的直线促动是通过电压控制,可进行超快速(µs级)步进调节,同时,可通过手动调节θx、θy 两轴的偏转角度,角度调节范围可达±4°。将镜片调节与相移步进相结合,使其更方便于像移、干涉测量等光路调节应用。

它的运动效果如下所示。

型号举例

型号

手调偏转范围

压电直线范围

压电驱动电压

ZT50M14S7(带传感器)

±3°

9μm

0~150V

ZT50M14K7

±3°

9μm

0~150V

ZT50M14S120
(带传感器)

±3°

114μm

0~150V

ZT35H80K

±4°

3.73μm
(0.7μm@150V)

0~800V



光路的直线调节


光路的直线调节是指不改变光的方向,只对光的直线传输的路径进行调节,可以改变光的相位、频率等。





PZT压电陶瓷片/叠堆应用于光路的直线调节


压电陶瓷片/叠堆是相对较小的移相器,最小的尺寸可达1.22×1.3×1.7mm^3。在使用中,需将反射镜片或透射镜片直接粘贴于压电陶瓷片/叠堆上。


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PZT压电元件在电压驱动下,产生直线运动位移,从而带动反射镜片/透射镜片进行直线前进或后退,从而引起光路径长度的变化。


参数举例

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注:芯明天具有上千种压电陶瓷型号,详细参数请见芯明天产品样册或。

PZT压电陶瓷产生的位移量与施加的电压成基本的线性关系。例如,一款陶瓷在150V驱动下可达的位移为9μm,则在施加15V驱动电压时,它产生的位移约0.9μm。

PZT压电陶瓷片/叠堆的体积小、精度高,非常适用于受限空间中的光路调整。但压电陶瓷一经粘贴镜片后,不可进行拆卸,因为拆卸的过程会造成压电陶瓷的损坏。





封装式压电陶瓷促动器应用于光路直线调整


封装式压电陶瓷促动器是将PZT压电陶瓷元件封装于内部,并预加有预载力。封装压电促动器的结构不仅对压电陶瓷进行非常好的保护,同时它可以工作在更高的频率下,可动态使用。


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封装式压电促动器的镜片安装接口也更灵活,镜片可粘贴于镜片座上,镜片座通过螺纹安装于压电促动器的移动端,易于镜片更换。


型号举例

型号
直线行程
空载谐振频率
外径
PSt150/4/7 VS9
9μm
40kHz
9mm
PSt150/5/7 VS10
9μm
40kHz
10mm
PSt150/7/40 VS12
38μm
20kHz
12mm
PSt150/10/100 VS15
95μm
10kHz
15mm
ZT50M14K60
57μm
15kHz
14mm

注:更多型号请详见芯明天产品手册或。

封装式压电陶瓷促动器也具有环形中孔版本,中心具有通孔,且配备有镜片安装帽,镜片安装、更换更便捷。中心通孔尺寸由直径4.5mm至24mm不等。


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机构放大促动器应用于直线光路调整


机构放大促动器是将PZT压电陶瓷元件的位移进行放大并输出的促动器,它适用于光学调整中要求大位移的应用。并且,该种压电促动器可选配闭环反馈传感器,可对压电促动器的位移进行线性控制。


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型号举例

型号
P87.X38S
单位
行程范围
38
μm
驱动电压
150
V
传感器
SGS

空载固有频率
1200
Hz





压电光纤相位调制器应用于光路调整


芯明天压电光纤相位调制器是一种光纤拉伸装置,可对缠绕于其外径凹槽内的光纤进行拉伸,拉伸的长度、频率可调。

在使用芯明天光纤相位调制器时,需注意光纤缠绕的圈数,要保证压电光纤相位调制器的出力满足光纤拉伸的出力要求。


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型号举例

型号
H01.6
单位
径向标称行程@120V
5.6
μm
每圈光纤拉伸长度@120V
28
μm
径向标称行程@150V
7
μm
每圈光纤拉伸长度@150V
35
μm
径向最大推力
250
N
空载谐振频率
9500
Hz
外形尺寸
OD 55,H 8
mm





压电宏微复合平台应用于光路调整


当利用光纤对光进行传输时,两束光的对准、耦合就会要求非常高的对准精度。芯明天压电宏微复合平台可选1至3维运动,是千分尺粗调与压电精调的结合。


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型号举例

型号
X65P83S/K
XYZ65P84S/K250
运动轴
X
X Y Z
粗调行程
13mm
13mm
精调行程
25μm
250μm
分辨率
0.5nm
2nm
承载能力
1.5kg
0.2kg





压电移相器应用于光路调整


芯明天具有几十种压电移相器,中心孔径由φ36mm至φ310mm不等,承载能力可高达25kg,可正立、倒置、侧卧等使用,是专门针对各类光学镜片检测仪器设计、生产,如激光干涉仪。


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芯明天压电移相器产生一维直线运动,行程在12μm以上,采用直驱式驱动,因此承载能力强,步进分辨率高。


型号举例

型号
中心孔径
分辨率
承载能力
P77.S/K36
φ36mm
0.2nm
正立:7kg
卧式:1kg
倒置:5kg
P77.S/K106
φ106mm
0.2nm
正立:15kg
卧式:5kg
倒置:10kg
P77.S/K154
φ155mm
0.2nm
正立:25kg
卧式:20kg
倒置:25kg
P77.S/K310
φ310mm
0.2nm
正立:12kg
卧式:12kg
倒置:12kg
P77A.100S/K75
φ75mm
1nm
倒置:3kg





压电物镜定位器应用于光学聚焦


芯明天压电物镜定位器是专门为光的聚焦而设计的Z向运动压电微运动台,采用无回差柔性铰链并联导向机构设计,具有超高聚焦稳定性。光路通过物镜头进行聚焦,焦点的位置是通过压电物镜定位器进行调节,调节的精度可达纳米量级。

压电物镜定位器一般装入显微检测/测量或观测装置,带载物镜头进行精密定位调整,可与多种高分辨率显微镜配合使用。


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芯明天压电物镜定位器的运动效果如下图所示。


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型号举例

型号
Z向行程
分辨率
承载能力
P72.Z100
100μm
1nm
0.2kg
P73.Z200
200μm
2nm
0.2kg
P73.Z500
500μm
4nm
0.4kg
P73.Z1000
1000μm
8nm
0.2kg
P76.Z50
75μm
1nm
0.5kg
P76.Z50A
50μm
0.5nm
0.5kg
P76.Z100
100μm
1nm
0.5kg
P76.Z200
200μm
2nm
0.5kg
XD730.400
400μm
4nm
0.5kg
XD730.500
500μm
5nm
0.5kg
XP-721
100μm
1nm
0.2kg

...



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结语

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以上展示了芯明天部分应用于光路调整的压电微运动产品,更多光路调整应用产品,将持续更新。

若您对压电纳米运动与控制产品的选择有疑问,欢迎您联系芯明天,我们的工程师将为您推荐适用于您应用的压电微运动产品。