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P22一维θx向压电偏转镜4mrad

P22系列压电偏转镜是一维θx轴偏转镜/快反镜，柔性铰链导向设计具有零摩擦及静态阻力、优异的导向精度。提供纳弧度的分辨率和优异的定位稳定性。光束偏转范围可达8mrad, 具有极快的响应速度（毫秒至微秒级），非常适于动态操作（例如跟踪、扫描、漂移及振动消除）及光学和样品的静态定位。

P22一维θx向压电偏转镜4mrad

特性

• θx一维偏转，zui大偏转角度4mrad • 闭环定位精度高 • 分辨率高

• 外形超薄 • 亚毫秒响应时间

运动方式

频率负载曲线

闭环曲线

闭环传感输出监测电压与偏转镜输出偏转角度成线性关系。

维θx向压电偏转镜4mrad

小体积、高动态、开环闭环可选

结构原理

压电驱动俯仰/偏转台（快反镜/倾斜镜，光束偏转，相移器）提供比音圈电机类产品更高的加速度及带宽，θx轴偏转范围 4mrad，偏转分辨率达0.1μrad，开环闭环可选，闭环传感器包括应变传感器及电容传感器，可获得更高的定位精度。

超小体积设计，具有非常快的响应速度，可带载Ø15mm的镜片实现0.8ms的阶跃时间。

平台由一个铰链支撑，并且由一个线性压电促动器推动。铰链确定了轴心点，兼起到给压电促动器施加预紧力的作用。单个铰链单个促动器设计的优点是结构简单、体积小巧、性价比高等。

如果角度偏转时工作环境温度变化范围较大，推荐使用差分驱动压电偏转镜。

应用

产品测试

• 图像处理/稳定 • 光束扫描 • 隔行扫描、抖动 • 光束偏摆/稳定 • 光学、激光扫描、通信 • 光过滤/转换 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜