详细信息

1.芯明天二维θxθy向压电偏摆台

特性

• θx, θy偏摆运动，zui大偏转角度±1.1mrad/轴 • 开环/闭环可选择 • 80×80mm大通孔

• 分辨率高 • 外形超薄

2.芯明天二维θxθy向压电偏摆台

外观形状	产品运动示意图	闭环曲线

闭环传感精度高

频率负载曲线

应用实例-激光合束/军事激光武器

P54系列压电偏转台内部柔性铰链导向机构采用有限元分析优化，使角度偏移达到zui小，无空回、无摩擦。

采用压电陶瓷驱动实现zui大偏转范围±1.1mrad，分辨率高达0.05μrad，可选择配置闭环传感器实现0.1%F.S.的重复定位精度。

台体非常薄，厚度仅为20mm，中心通孔尺寸为80×80mm，P54压电偏转台是亚微弧度精密光束调整、计量、定位等应用的选择。

P54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用于军事激光武器等领域。

负载大镜片

驱动方式

P54压电偏转台中心大通光孔达80×80mm，非常适用于需要透射光的应用，负载后仍可高动态高精度的扫描。

校准调测

震动实验

3.二维θxθy向压电偏摆台驱动方式

P54压电偏转台θxθy两轴采用90^。相差输入，通过控制电压的大小，对不同的光路距离，可进行一定范围的圆形范围扫描，如下右图所示。

应用

• 光束扫描 • 激光合束对准与激光致盲 • 干涉/计量 • 空间扰动模拟系统 • 光路调整 • 掩模与晶片位置调整 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析