详细信息

芯明天三维θxθyZ向压电偏摆台特性：

• ±1.1mrad/轴的θx, θy偏摆运动及Z向110μm直线运动 • 闭环定位精度高

• 80×80mm大通光孔 • 分辨率高 • 外形超薄 • 响应速度快

芯明天三维θxθyZ向压电偏摆台外观形状

外观形状	产品运动示意图	闭环曲线

闭环传感精度高

频率负载曲线

仿真分析

P51系列压电偏转台为θx,θy轴偏摆Z轴升降台，偏转行程为±1.1mrad，Z轴直线行程可达110μm。

P51偏转台台体采用无回差柔性铰链导向结构，采用有限元分析进行优化，具有超高的刚度以及导向精度。

可选择内置精密传感器进行全闭环位置反馈，确保其具有良好的运动控制精度，直线运动分辨率可达到亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度、定位稳定时间为毫秒量级。

通过有限元FEA优化的铰链用于导向机构偏转台。有限元分析技术用于设计运动方向上zui高的刚度，并减少角度偏差。铰链部分允许*精度的运动，因为铰链机构无间隙、无摩擦。

超薄的设计适用于显微应用且可负载大镜片

产品测试

P51压电偏转台中心大通光孔达80×80mm，非常适用于需要透射光的应用，负载后仍可高动态高精度的扫描。

P51系列偏摆/倾斜、升降台是专门为对准、纳米聚焦、计量等应用设计的，台体非常薄，厚度仅为20mm，非常易于集成到高精度显微镜中。

校准调测

震动实验

3.三维θxθyZ向压电偏摆台

驱动方式

P51压电偏转台θxθy两轴采用90^。相差输入，并配合Z轴升降运动，再通过控制电压的大小，对于固定的光路距离，可进行一定范围的锥形范围扫描，如下右图所示。

应用

• 光束扫描 • 激光合束对准与激光致盲 • 干涉/计量 • 空间扰动模拟系统 • 光路调整 • 掩模与晶片位置调整 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析