芯明天一维θz向压电旋转台
压电偏摆/旋转台系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整,内部采用无回差柔性铰链并联结构设计,确保了产品具有良好的偏转精度和超高的稳定性且响应速度快,是激光光束扫描以及激光合束等光路调整。
芯明天一维θz向压电旋转台P21系列压电旋转台为一维θz旋转台,产品体积小巧,P21系列zui大旋转角度8.5mrad,承载能力达2kg。
特性
• θz旋转,角度位移达8.5mrad • 承载达2kg • 闭环定位精度高
• 响应速度快 • 体积小巧
外观形状 | 产品运动示意图 | 闭环曲线 |
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小体积、高分辨率、高精度 | 频率负载曲线 | 应用实例-超精密旋转定位 | |
P21 θz一维旋转台采用机构放大设计原理,可以实现zui大8.5mrad的旋转,体积小巧、结构紧凑,尺寸仅为60×60×15mm,非常易于集成到精密旋转设备中。 采用压电陶瓷作为驱动元件,台体采用柔性铰链机构,无摩擦、无回差,可以实现0.2μrad的分辨率。内置SGS传感器配套闭环控制器可以实现微弧度的定位精度,在光路精密角度调整中起着非常重要的作用。 |
| P21系列压电旋转台可以与芯明天任意平台或倾斜台配合使用,组成多轴精密压电定位台,用于多维精密直线与旋转定位操作。
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应用
• 光路调整 • 光学、激光扫描、通信、光线偏转、干涉/计量等
驱动控制方式
P21为θz一维压电旋转台,单通道压电控制器即可驱动控制,闭环版本P21配套E01系列闭环控制器,实现θz高精度旋转定位控制。