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芯明天放大机构式压电位移台

P79系列Z向样品升降压电扫描台为一维Z轴微动平台，它的移动范围可达210µm，定位分辨率可达3nm。

芯明天放大机构式压电位移台P79平台可对样品进行Z轴快速精密的聚焦调节，阶跃时间达毫秒量级。主要用于配套宏动XY轴运动扫描平台或压电马达平台使用，在宏动平台进行样品位置的粗调后，再通过P79压电扫描台进行样品位置的精确调整，定位精度达纳米量级。

两款规格型号、开环/闭环可选

P79系列Z向扫描台具有两种Z向行程范围可供选择，分别为110μm及210μm，可根据精确调整的运动范围进行选择。

另外，P79系统可提供开环及闭环版本。开环版本定位速度更快，且分辨率更高；对于有定位精度及稳定性需求的应用，可以选择配置SGS闭环传感器，装配在平台的位置，提供高分辨率、快速响应的传感电压信号给压电控制器。全桥设计避免了温度的漂移，确保了定位精度。

特性

• 一维Z向运动，zui大行程210μm • zui大承载2kg • 通孔尺寸：128.5×86.5mm

• 开环、闭环可选 • 闭环重复定位精度高

外观形状	产品运动示意图	台体采用机构放大式驱动设计，行程范围大

大通孔、快速聚焦、Z向捕获、超精密导向机构

频率负载曲线

表面绝缘压电陶瓷提供长使用寿命

P79系列压电扫描台具有方形通孔，通孔尺寸为128.5×86.5mm，这种大通孔设计主要是为了满足各种样品夹持结构，如多井控制盘。

压电陶瓷驱动以及无摩擦柔性铰链结构使其具有超快的响应速度，Z轴步进速度和稳定时间仅为马达驱动的1/20，大大提高了成像捕获能力和生产能力。

压电扫描台采用高*性、高稳定性的表面绝缘压电陶瓷，陶瓷抵抗外部环境的能力非常高且无漏电现象。

应用

• 荧光显微 • 共焦显微 • 精密定位/样品检测 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 自动聚焦系统 • 表面检测/3D成像 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物科技