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直驱机构式压电扫描台 N63压电扫描台为二维XY轴扫描平台，一体式结构设计原理，压电陶瓷直驱机构，可实现8μm的扫描范围，台体高度仅为17mm，闭环版本具有超高的定位精度，适用于显微扫描等应用。

直驱机构式压电扫描台特性

• 二维XY向运动，zui大行程8μm/轴 • zui大承载3kg

• 台体中心方形通孔，尺寸为Ø62mm • 内置高性能压电陶瓷

• 开环、闭环可选

外观形状	产品运动示意图	台体采用直驱式结构设计，出力大

一体式超薄结构、高分辨率、闭环精度高

频率负载曲线

压电陶瓷嵌套式一体结构

N63压电扫描台为XY二维平移扫描台，平台采用柔性铰链导向压电陶瓷直驱的机构设计，具有无间隙、无后坐力、无摩擦等特点，使其具有超高的分辨率达0.2nm。

可选择内置高性能传感器实现8×8μm范围内超高的定位精度。

N63压电扫描台由于具有超薄的结构，台体仅为17mm，中心通孔非常便于与显微镜配套安装。

N63压电扫描台采用压电陶瓷直驱机构设计原理，嵌套式机构使其具有非常良好的动态性能。

平稳和精确的扫描圆形驱动

精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳精确。

应用

• 图像处理与稳定 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析