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芯明天压电物镜定位器

XP-721系列压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，物镜补偿量较小，具有超高聚焦稳定性，物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动物镜头聚焦提高精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。

芯明天压电物镜定位器

XP-721系列为小体积常规型压电物镜定位器，采用分离式螺纹适配器设计，可与多种显微镜配套使用。种螺纹牙可选，如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于与显微镜集成安装。

特性

• Z向运动，zui大行程110μm • zui大承载0.2kg • 毫秒级响应时间

• 闭环重复定位精度高 • 聚焦稳定性好

外观形状	产品运动示意图	可装配多种品牌、尺寸的物镜

快速安装、高稳定性、长使用寿命

频率负载曲线

应用实例-倒置光学显微镜

XP-721压电物镜定位器为通用型显微成像聚焦定位器，采用压电陶瓷驱动，可实现的扫描范围为110μm。

产品通过螺纹适配器安装于透镜连接架与物镜间。将物镜定位器主体通过螺纹连接到透镜转动架上，再将物镜连接到定位器上，这种设计使得拆卸物镜时不需要拆下其它组件。

物镜定位器内置高可靠性压电陶瓷，与优异的机械结构相结合，具有稳定性好、使用寿命长等优点。

XP-721系列压电物镜定位器安装在倒置光学显微镜中。

响应时间可调节

驱动方式

闭环曲线

配不同控制与承载响应时间可调。

应用

• 三维成像 • 精密定位 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析