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芯明天放大机构式压电扫描台 XP-780系列压电扫描台采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，实现X轴zui大220μm的位移，可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm的通孔，适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。

芯明天放大机构式压电扫描台 XP-780系列压电扫描台特性

• zui大位移220μm

• zui大承载5kg

• 通孔尺寸：25×25mm

• 闭环重复定位精度高 • 开/闭环可选

大行程、高精度、大负载
XP-780系列大行程压电扫描台采用机构放大设计原理，可以实现zui大220μm的位移行程，无摩擦无空回的柔性导向机构使其具有超高的分辨率，选择配置闭环传感器可实现纳米级的定位精度，台体通孔使其适用于显微扫描等应用。
优异的结构设计使其具有非常高的刚度，承载能力大，可带载5kg的样品作精密定位

1~3维扫描台

XP-780系列压电扫描台包括X、XY、XZ、XYZ多种规格型号，可以自由叠加组合。

XP-780系列压电扫描台典型应用

• SPM扫描显微镜   • 干涉
• 掩模/晶圆定位   • 计量
• 生物技术   • 表面结构分析

XP-780系列压电扫描台技术参数：

型号	尾缀S-闭环尾缀K-开环	XP-780.XS XP-780.XK	单位
运动自由度		X
标称行程范围（0~120V）		160	μm±20%
zui大行程范围（-20~150V）		220	μm±20%
传感器类型		SGS/-
通孔尺寸		25×25	mm
闭/开环分辨率		10/5	nm
闭环线性度		0.1/-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.05/-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<50	µrad
推/拉力		80/40	N
运动方向刚度		0.5	N/μm±20%
空载谐振频率		200	Hz±20%
闭/开环空载阶跃时间		20/5	ms±20%
闭环空载工作频率	10%行程	50	Hz±20%
	行程	15
zui大承载		5	kg
静电容量		11	μF±20%
材质		铝
重量		240	g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。