芯明天放大机构式压电扫描台
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详细信息

   芯明天放大机构式压电扫描台 P12压电扫描台为压电陶瓷驱动、1~3维并联式平移扫描台，台体中心圆形通孔孔径可选25mm或35mm，满足显微等应用。压 电扫描台可以实现单轴320μm的位移行程，一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选，以满足不同应用的需求。

芯明天放大机构式压电扫描台P12压电扫描台特性

• 大位移320μm

• 大承载0.8kg

• 台体中心通孔

• 闭环重复定位精度高

1~3维扫描台

   P12系列压电纳米定位台为1~3维直线压电扫描台，包 括X、Z、XY、XZ、XYZ等多种规格型号，通孔直径25mm 或35mm可选。

小体积、大位移、中心通孔

   P12系列压电扫描台采用机构放大设计原理，超小的体 积外形，尺寸仅为60×60×24mm，可以实现大320μm 的扫描范围，中心通孔可选25mm或35mm，35mm通孔 对应台体外形尺寸为70×70×24mm。

   台体采用FEA有限元分析优化设计，具有零摩擦、超高 导向精度、纳米级分辨率等优点。

   P12系列压电扫描台内置高可靠性表面绝缘压电陶瓷， 确保了扫描台的可靠性与稳定性。

P12.Z300闭环稳定时间图 

   P12系列压电扫描台具有优异的阶跃稳定性，下图为P12.Z300 大位移320μm闭环稳定时间图。 

P12压电扫描台典型应用

• 扫描干涉 • 共焦显微

• 晶圆定位 • 表面测量

• 图像处理与稳定 • 光学捕获

P12压电扫描台技术参数：

 

 

型号

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

 

P12.X100S P12.X100K

 

P12.Z100S P12.Z100K

 

P12.Z200S P12.Z200K

 

P12.Z300S P12.Z300K

 

P12.XY100S P12.XY100K

 

P12.XYZ100S P12.XYZ100K

 

单位

运动自由度

X

Z

Z

Z

X、Y

X、Y、Z

 

标称行程范围(0~120V)

80

80

160

240

80/轴

80/轴

μm±20%

大行程范围(-20~150V)

110

110

210

320

110/轴

110/轴

μm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

 

通孔尺寸

Ø25/Ø35

Ø25/Ø35

Ø25/Ø35

Ø25/Ø35

Ø25/Ø35

Ø25/Ø35

mm

闭/开环分辨率

7/4

7/4

7/4

11/5

7/4

7/4

nm

闭环线性度

0.05/-

0.05/-

0.1/-

0.4/-

0.05/-

0.15/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.01/-

0.01/-

0.03/-

0.15/-

0.03/-

0.05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<10

<10

<15

<15

<10

<15

µrad

推/拉力

30/10

30/10

30/10

30/10

25/8

20/4

N

运动方向刚度

0.3

0.3

0.2

0.1

X0.25/Y0.3

X0.3/Y0.25/Z0.2

N/μm±20%

空载谐振频率

230

220

150

100

X180/Y230

X230/Y180/Z150

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

10/0.8

10/0.8

15/1.6

30/2.4

15/0.8

30/0.8

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

100

100

50

30

100

50

 

Hz±20%

行程

9

10

5

3

9

5

大承载

0.8

0.8

0.5

0.4

0.7

0.6

kg

静电容量

1.8

1.8

3.6

5.4

1.8/轴

1.8/轴

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝

钢、铝

钢、铝

钢、铝

钢、铝

 

重量

140

140

200

260

200

260

g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。