芯明天放大机构式压电扫描台
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详细信息

   芯明天放大机构式压电扫描台 N12压电扫描台为1~3维并联式平移扫描台，台体中心方形通孔，内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优 化结构，具有超高的导向精度、高刚性、大负载、无磨损等特点，平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈，实现满行程0.04%的 重复定位精度。

芯明天放大机构式压电扫描台N12压电扫描台特性

• 大位移110μm

• 大承载0.7kg

• 台体中心方形通孔

• 闭环重复定位精度高 • 开环闭环可选

1~3维扫描台

   N12系列压电扫描台包含X、Z、XY、XZ、XYZ五种规格型号。

闭环传感定位精度高

    N12系列压电扫描台配置高分辨率传感器，对位置实时检测 并反馈到压电控制器，控制器通过PID算法调整电压修正位移，从 而实现高精度定位。

    N12.XYZ压电扫描台配套芯明天E72系列模块化控制器应用 于光学显微成像，实现XYZ轴精密扫描。

小体积、大位移、中心通孔

    N12系列纳米定位台体积非常小巧，位移可达110μm。 *的平行运动学设计原理，使得平台可以实现XYZ轴高速 精密运动。这款产品的应用非常广泛，从光学研究到工业化 OEM系统等。

    该系列压电扫描台的通光孔为45×45mm。高刚度以及 优异的直线性使其成为光学、激光领域纳米级精密定位应用。

N12压电扫描台典型应用

 扫描显微

• 共焦显微

• 晶圆定位

• 表面测量

• 图像处理与稳定

• 半导体测试

N12压电扫描台技术参数：

 

型号

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

 

N12.X100S N12.X100K

 

N12.Z100S N12.Z100K

 

N12.XY100S N12.XY100K

 

N12.XZ100S N12.XZ100K

 

N12.XYZ100S N12.XYZ100K

 

单位

运动自由度

X

Z

X、Y

X、Z

X、Y、Z

 

标称行程范围（0~120V）

80

80

80/轴

80/轴

80/轴

μm±20%

大行程范围（-20~150V）

110

110

110/轴

110/轴

110/轴

μm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

 

通孔尺寸

45×45

45×45

45×45

45×45

45×45

mm

闭/开环分辨率

7/4

7/4

7/4

7/4

7/4

nm

闭环线性度

0.1/-

0.1/-

0.1/-

0.1/-

0.15/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.04/-

0.04/-

0.05/-

0.05/-

0.1/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<10

<10

<15

<15

<20

µrad

推/拉力

30/10

30/10

25/8

25/8

20/4

N

运动方向刚度

0.3

0.3

X0.25/Y0.3

X0.3/Z0.25

X0.3/Y0.25/Z0.2

N/μm±20%

空载谐振频率

230

200

X170/Y200

X200/Z150

X200/Y150/Z120

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

10/0.8

10/0.8

15/0.8

15/0.8

30/0.8

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

60

65

55

50

30

 

Hz±20%

行程

8

8

7

6

4

大承载

0.7

0.7

0.7

0.7

0.5

kg

静电容量

1.8

1.8

1.8/轴

1.8/轴

1.8/轴

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝

钢、铝

钢、铝

钢、铝

 

重量

240

240

290

290

350

g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。