P76压电物镜定位器
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详细信息

P76系列压电物镜定位器为大负载压电物镜定位器,负载能力可达500g,Z轴直线运动范围可达110μm,采用柔性铰链设计机构,无 摩擦,直线性好,闭环型号定位精度高。分离式螺纹适配器设计,可适配多种型号的显微镜。

特性:

• 位移行程110μm

• 大负载500g

• 毫秒级响应时间

• 闭环重复定位精度高

• 聚焦稳定性好

典型应用

• 三维成像 • 干涉/计量

• 自动聚焦系统 • 共焦显微

• 晶圆切割 • 半导体测试

螺纹适配器便于安装
   P76物镜定位器与物镜之间通过适配器连接,将物镜快速锁定在 预期位置 。 多种螺纹 牙可选 ,如 M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于与显 微镜集成安装。

 

大负载、高频响、高分辨率
   P76纳米扫描聚焦系统的设计是为了大负载、大孔径 物镜在现代高分辨率显微应用中达到快的阶跃时间。它 极其坚固的设计提供了非常快的稳定时间及扫描频率,即 使带载几百克的物镜时。多个压电驱动器的旋转对称排列 及挠曲和杠杆元件的优化设计,使它具有较高的刚度,同 时保证了优异的导向精度和动态性。
   P76压电物镜定位器的大通光孔径为22mm,大 负载为500g,它兼容多光子显微和共聚焦显微应用中常用 的大视场物镜。P76压电物镜定位器可匹配蔡司、尼康、 奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。它也可以通过适配器与 手动调节台相结合使用。

技术参数:

 

型号

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

P76.Z100S P76.Z100K

 

单位

运动自由度

Z

 

标称行程范围(0~120V)

80

μm±20%

大行程范围(-20~150V)

110

μm±20%

传感器类型

SGS/-

 

闭/开环分辨率

5/2.5

nm

闭环线性度

0.05/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.02/-

%F.S.

推/拉力

70/10

N

运动方向刚度

0.8

N/μm±20%

空载谐振频率

800

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

5/2

ms±20%

 

闭环空载工作频率

10%行程

400

 

Hz±20%

行程

50

大承载

0.5

kg

静电容量

7.2

μF±20%

材质

钢、铝

 

重量

520

g±5%

 

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。