P34系列压电偏转镜
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详细信息

P34系列压电偏转镜是专为较大直径镜片而设计,可加载直径达80mm的镜片,它的差分驱动在较大温度范围内表现出非常出色的角 度定位稳定性。P34系列偏转镜允许顶部平台在具有共同枢轴点(并联运动)的两个正交轴上进行高动态精密偏转运动,多种镜片安装面 可选,以获得对不同镜片材料的热适应。开环、闭环版本可供选择,所有版本都具有亚微弧度分辨率,且倾斜角度大可达6mrad (等于光束偏转12mrd)。

特性:

•  θx, θy二维偏转 • 大偏转范围6mrad • 亚毫秒响应时间 • 闭环定位精度高 • 温度稳定性高

典型应用

• 图像处理与稳定 • 激光扫描/光束偏转

• 主动及自适应光学 • 光学滤波器

• 光束稳定 • 多角镜的误差修正

可负载大镜片

P34系列压电偏转镜可负载直径达80mm的镜片,实现12mrad 的光束偏转。

高稳定性、线性度及动态性、使用寿命长

芯明天压电俯仰/偏转镜系统是基于平行运动学设计, 两个方向偏转运动共用同一个移动面。内部四个压电促动器 是成对的差分控制,决定了平台俯仰/偏转运动。这使得 P34压电倾斜镜在较大温差变化范围的环境中具有非常优秀 的角度定位稳定性。

内部采用芯明天叠堆型压电促动器可保证高的可靠 性。特殊树脂绝缘使其可抵抗环境湿度及漏电流故障。所以 在可靠性及寿命上远优于传统压电促动器。

频率负载曲线 推荐控制器

E00

E70

E72

页码 157

页码 167

页码 163

 

 

 

 

3路输出(1路恒压)

3路输出

3路输出

模拟、上位机通信、旋钮

模拟与数字控制

数字与模拟控制

开环闭环

开环闭环

开环闭环

平均功率35W/通道

平均功率5W/通道

平均功率6W/通道

 

P34系列压电偏转镜技术参数

 

型号

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

 

P34.T1S P34.T1K

 

P34.T2S P34.T2K

 

P34.T4S P34.T4K

 

单位

运动自由度

θx, θy

θx, θy

θx, θy

 

标称行程范围(0~120V)

1.2或±0.6

2.5或±1.25

5或±2.5

mrad±20%

大行程范围(-20~150V)

1.5或±0.75

3或±1.5

6或±3

mrad±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

 

闭/开环分辨率

0.1/0.02

0.2/0.1

0.4/0.2

μrad

闭环线性度

0.1/-

0.2/-

0.3/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.02/-

0.02/-

0.02/-

%F.S.

空载谐振频率

2

1.4

0.9

kHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

2/1

4/2

10/4

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

1000

500

240

 

Hz±20%

行程

100

50

20

静电容量

3.6/轴

7.2/轴

14.5/轴

μF±20%

材质

 

重量

200

400

800

g±5%

偏转台长度

38

56

92

mm±0.1

 

以上参数是采用E00系列压电控制器测得