P34系列压电偏转镜是专为较大直径镜片而设计,可加载直径达80mm的镜片,它的差分驱动在较大温度范围内表现出非常出色的角 度定位稳定性。P34系列偏转镜允许顶部平台在具有共同枢轴点(并联运动)的两个正交轴上进行高动态精密偏转运动,多种镜片安装面 可选,以获得对不同镜片材料的热适应。开环、闭环版本可供选择,所有版本都具有亚微弧度分辨率,且倾斜角度大可达6mrad (等于光束偏转12mrd)。
特性:
• θx, θy二维偏转 • 大偏转范围6mrad • 亚毫秒响应时间 • 闭环定位精度高 • 温度稳定性高
典型应用
• 图像处理与稳定 • 激光扫描/光束偏转
• 主动及自适应光学 • 光学滤波器
• 光束稳定 • 多角镜的误差修正
可负载大镜片
P34系列压电偏转镜可负载直径达80mm的镜片,实现12mrad 的光束偏转。
高稳定性、线性度及动态性、使用寿命长
芯明天压电俯仰/偏转镜系统是基于平行运动学设计, 两个方向偏转运动共用同一个移动面。内部四个压电促动器 是成对的差分控制,决定了平台俯仰/偏转运动。这使得 P34压电倾斜镜在较大温差变化范围的环境中具有非常优秀 的角度定位稳定性。
内部采用芯明天叠堆型压电促动器可保证高的可靠 性。特殊树脂绝缘使其可抵抗环境湿度及漏电流故障。所以 在可靠性及寿命上远优于传统压电促动器。
频率负载曲线 推荐控制器
E00 | E70 | E72 |
页码 157 | 页码 167 | 页码 163 |
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3路输出(1路恒压) | 3路输出 | 3路输出 |
模拟、上位机通信、旋钮 | 模拟与数字控制 | 数字与模拟控制 |
开环闭环 | 开环闭环 | 开环闭环 |
平均功率35W/通道 | 平均功率5W/通道 | 平均功率6W/通道 |
P34系列压电偏转镜技术参数
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P34.T1S P34.T1K |
P34.T2S P34.T2K |
P34.T4S P34.T4K |
单位 |
运动自由度 | θx, θy | θx, θy | θx, θy |
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标称行程范围(0~120V) | 1.2或±0.6 | 2.5或±1.25 | 5或±2.5 | mrad±20% | |
大行程范围(-20~150V) | 1.5或±0.75 | 3或±1.5 | 6或±3 | mrad±20% | |
传感器类型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- |
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闭/开环分辨率 | 0.1/0.02 | 0.2/0.1 | 0.4/0.2 | μrad | |
闭环线性度 | 0.1/- | 0.2/- | 0.3/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.02/- | 0.02/- | 0.02/- | %F.S. | |
空载谐振频率 | 2 | 1.4 | 0.9 | kHz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 2/1 | 4/2 | 10/4 | ms±20% | |
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 1000 | 500 | 240 |
Hz±20% |
行程 | 100 | 50 | 20 | ||
静电容量 | 3.6/轴 | 7.2/轴 | 14.5/轴 | μF±20% | |
材质 | 铝 | 铝 | 铝 |
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重量 | 200 | 400 | 800 | g±5% | |
偏转台长度 | 38 | 56 | 92 | mm±0.1 |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得