详细信息

P73.Z500系列压电物镜定位器为大行程压电物镜定位器，Z轴直线运动范围可达550μm，采用柔性铰链设计机构，无摩擦、运动直线性好且闭环型号定位精度高。分离式螺纹适配器设计，可适配多种型号的显微镜，广泛应用于大范围显微成像、双光子显微镜等领域。

螺纹适配器便于安装

P73物镜定位器与物镜之间通过适配器连接，将物镜快速锁定在预期位置。多种螺纹牙可选，如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于与显微镜集成安装。

大行程、响应速度快、分辨率高

P73压电物镜定位器是大行程、高速、压电陶瓷驱动的聚焦显微扫描装置，产品体积小但可实现的位移高达550μm。
P73采用柔性铰链导向机构，无机械摩擦、无机械间隙、纳米级分辨率，具有超高的定位精度及超快的响应速度。
该系列压电物镜定位器具有大刚度、谐振频率高等特点，可以实现满行程20ms的阶跃时间，负载 150g后阶跃时间小于30ms且重复度达满行程的0.05%F.S.。
P73压电物镜定位器可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。它也可以通过适配器与手动调节台相结合使用。

P73.Z500系列压电物镜定位器技术参数：

型号	尾缀S-闭环尾缀K-开环	P73.Z500S P73.Z500K	单位
运动自由度		Z
标称行程范围（0~120V）		400	μm±20%
大行程范围（-20~150V)		550	μm±20%
传感器类型		SGS/-
闭/开环分辨率		18/7	nm
闭环线性度		0.1/-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.05/-	%F.S.
推/拉力		80/10	N
运动方向刚度		0.2	N/μm±20%
空载谐振频率		170	Hz±20%
闭/开环空载阶跃时间		20/10	ms±20%
闭环空载工作频率	10%行程	40	Hz±20%
	行程	10
大承载		0.4	kg
静电容量		14	μF±20%
材质		钢、铝
重量		450	g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

特性:

• 大行程550μm

• 大负载0.4kg

• 毫秒级响应时间

• 闭环重复定位精度高

• 聚焦稳定性好

典型应用

• 三维成像 • 干涉/计量 • 生物科技

• 表面结构分析 • 共焦显微 • 半导体测试