小体积常规型压电物镜定位器
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详细信息

 XP-721为小体积常规型压电物镜定位器,采用分离式螺纹适配器设计,可与多种显微镜配套使用。

小体积常规型压电物镜定位器技术参数:

型号

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

XP-721.S XP-721.K


单位

运动自由度

Z


标称行程范围(0~120V)

80

μm±20%

大行程范围(-20~150V)

110

μm±20%

传感器类型

SGS/-


闭/开环分辨率

10/3

nm

闭环线性度

0.2/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1/-

%F.S.

推/拉力

30/10

N

运动方向刚度

0.3

N/μm±20%

空载谐振频率

500

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

10/2

ms±20%


闭环空载工作频率

10%行程

60


Hz±20%

行程

20

大承载

0.2

kg

静电容量

3.6

μF±20%

材质


重量

250

g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。

典型应用

• 三维成像 • 干涉/计量

• 表面结构分析 • 共焦显微

• 生物科技 • 半导体测试

快速安装、高稳定性、长使用寿命

XP-721系列压电物镜定位器为通用型显微成像聚焦定位 器,采用压电陶瓷驱动,可实现的扫描范围为110μm。

螺纹适配器便于安装

XP-721压电物镜定位器与物镜之间通过适配器连接,将物镜快 速锁定在预期位置。多种螺纹牙可选,如M27×0.75、M26×0.75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于与显 微镜集成安装。

倒置光学显微镜

XP-721系列压电物镜定位器安装在倒置光学显微镜中。

特点:

• 位移行程110μm

• 大承载200g

• 毫秒级响应时间

• 闭环重复定位精度高

• 聚焦稳定性好