详细信息

三维XYZ向压电纳米定位台为小体积1~3维压电定位台，平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有好的控制精度，分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，压电平台体积小、结构紧凑易于集成。

特性：

1~3维自由组合

• 位移行程8μm • 大承载0.8kg • 重复定位精度可达纳米级

• 亚毫秒响应时间

1-3维平移台

P63系列压电纳米定位台，包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多种运动方式可选。超小体积易于集成配套。

典型应用

• 显微成像 • 纳米定位

• 生物技术 • 半导体技术

• 质量保证测试 • 微车削

• 原子力显微镜

小体积、高精度、响应速度快

P63系列压电纳米定位台重要的特点是超级精密且体积非常小巧，尺寸仅为30×24×42mm（X轴尺寸为30×24×21mm），易于集成到任何扫描仪器中。

P63系列纳米定位台是超高精密纳米定位系统，是为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设计的，具有超低惯性，响应时间可达0.3ms，可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。

应用实例

P63三维纳米定位台已经应用于基于SEM在线纳米切削平台切削力测试实验中。

三维XYZ向压电纳米定位台技术参数：

型号	尾缀S-闭环尾缀K-开环	P63.X7S P63.X7K	P63.Z7S P63.Z7K	P63.XY7S P63.XY7K	P63.XZ7S P63.XZ7K	P63.XYZ7S P63.XYZ7K	单位
运动自由度		X	Z	X、Y	X、Z	X、Y、Z
标称行程范围（0~120V）		5.5	5.5	5.5/轴	5.5/轴	5.5/轴	μm±20%
大行程范围（-20~150V）		8	8	8/轴	8/轴	8/轴	μm±20%
传感器类型		SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-
闭/开环分辨率		0.2/0.1	0.2/0.1	0.2/0.1	0.2/0.1	0.2/0.1	nm
闭环线性度		0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.1/-	0.1/-	0.1/-	0.1/-	0.15/-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<5	<5	<10	<10	<15	µrad
推/拉力		10/2	12/2	8/2	9/2	7/2	N
运动方向刚度		1.5	2	X1.2/Y1.4	X1.2/Z1.5	X0.9/Y1/Z1.2	N/μm±20%
空载谐振频率		2	2.5	X1.3/Y1.9	X1.5/Z1.6	X0.9/Y0.95/Z1.2	kHz±20%
闭/开环空载阶跃时间		1.5/0.3	1.5/0.3	1.5/0.3	1.5/0.3	1.5/0.3	ms±20%
闭环空载工作频率	10%行程	1000	1000	500	500	200	Hz±20%
闭环空载工作频率	行程	200	200	100	100	50	Hz±20%
大承载		0.8	0.8	0.5	0.5	0.4	kg
静电容量		0.8	0.8	0.8/轴	0.8/轴	0.8/轴	μF±20%
材质		铝	铝	铝	铝	铝
重量		70	70	120	120	160	g±5%

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。