P18系列压电扫描台
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详细信息

   P18系列压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现X、XY、XYZ大370μm 的高速扫描，大通光孔径为Ø35mm，多种位移行程及规格型号可供选择，适用于大行程多维扫描等应用。

特性：

• 大位移370μm

• 大承载3.5kg

• 通孔直径：Ø35mm

1~3维扫描台

    P18压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式，可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。

典型应用

• 闭环重复定位精度高 • 响应速度快

• 图像处理与稳定 • 扫描显微

• 干涉/计量 • 表面检测

• 半导体测量 • 光学计量

大位移、大承载、高刚度、高频响

   P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，可以 实现大370μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版 本获得优异的线性度与重复定位精度。

   P18采用*的结构设计，具有大刚度、大出力、大承 载等特点，大承载达3.5kg，空载谐振频率达600Hz，配 套芯明天大功率控制器响应时间高可达5ms，是精密加 工、半导体制造、扫描显微等应用的选择。

在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动， 从而优化镜片读取的信息。

芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用 于纳米光刻实验。

 

技术参数：

 

 

型号

 

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

 

P18.X200S P18.X200K

 

P18.X300S P18.X300K

 

P18.XY200S P18.XY200K

 

P18.XY300S P18.XY300K

 

P18.XYZ200S P18.XYZ200K

 

单位

运动自由度

X

X

X、Y

X、Y

X、Y、Z

 

标称行程范围(0~120V)

200

300或±150

200/轴

300或±150/轴

200/轴

μm±20%

大行程范围(-20~150V)

280

370或±185

280/轴

370或±185/轴

280/轴

μm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

 

通孔尺寸

Ø35

Ø35

Ø35

Ø35

Ø35

mm

闭/开环分辨率

8/5

10/5

8/5

10/5

8/5

nm

闭环线性度

0.2/-

0.2/-

0.2/-

0.2/-

0.2/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.15/-

0.1/-

0.15/-

0.1/-

0.15/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<10

<15

<10

<15

<15

µrad

推/拉力

60/20

150/150

60/20

150/150

30/10

N

运动方向刚度

0.3

0.5

X0.3/Y0.3

X0.5/Y0.5

X0.1/Y0.1/Z0.1

N/μm±20%

空载谐振频率

500

600

X200/Y450

X250/Y500

X300/Y200/Z120

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

30/5

30/10

50/5

50/10

50/5

ms±20%

 

闭环空载 工作频率

10%行程

100

50

50

40

30

 

Hz±20%

行程

30

15

15

10

5

大承载

2

3.5

1.5

3

1

kg

静电容量

11

21

11/轴

21/轴

11/轴

μF±20%

材质

铝

铝

铝

铝

铝

 

重量

200

220

360

380

600

g±5%

 

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。