E01.Cap 电容式测微仪
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详细信息


E01.Cap 电容式测微仪是毫米级测量范围、纳米级测量精度的仪器。测微仪包括电感测微仪、电容测微仪、激光测微仪三种类型，主要用于高精度测量长度、厚度、深度、锥度等应用。

原理

它基于一个理想的平行板电容器原理，传感器与相对面被测目 标形成的两个电极，采用保护环电容器原理，用于测量任何金属 时，传感器仍是线性的。


E01.Cap 电容式测微仪技术参数

型号

E09.Cap

单位

量程范围

0~200

μm

线性度

±0.1

μm

静态分辨率

2.5

nm

动态分辨率（1kHz）

100

nm

传感器直径

10

mm

小目标直径

10

mm

静态重复性

5

nm

信号温度稳定性

＜ 0.005

%FSO/℃

长期稳定性

＜ 0.04

%FSO/ 月

带宽

2

kHz（-3dB）

工作温度范围

+10~+50

℃

环境湿度

<85

%

电压输出范围

0~+10

V

供电电压

220VAC 50Hz±10%


传感器线长

1.6

m

板卡尺寸：长×高× 深

35×130×180

mm

机箱尺寸：长×高× 深

280×170×360

mm


特性：

• 模块化设计、自由组拼

• 可提供单个板卡模块

• 高分辨率 • 模拟输出

• 非接触式测量


应用：

• Z向水准测量 •  X, Y向定位

• 轴向振动测量

• 热膨胀测量 • 位移台传感器