压电移相器
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详细信息

P77.D7 系列压电移相器是专为光学检测移相应用而设计的,中心通孔直径为65mm,内置高性能压电陶瓷,可以实现Z轴50μm的位移行程,负载可达2kg,无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率,非常适于镜头的光学检测等应用。

P77.D7的设计是基于光学干涉原理对参考镜片的步进精度及速度要求,既要毫秒甚至亚毫秒的快速响应,又要达到几纳米的步进精度,这也是P77.D7可作为光学移相的主要原因。另外P77系列可进行产品定制,可定制外形尺寸、中孔尺寸、位移、出力及承载能力等,可针对从小口径到大孔径的移相要求,目前标准品中定制的大口径可达265mm,而小口径的仅30mm,*取决于客户应用要求。

P77.D7系列产品特点:一维Z向运动、 行程可达50μm、 承载可达2kg、通孔直径:65mm。

P77.D7系列产品应用: 显微成像、 表面检测、干涉/测量、精密定位、 移相器、光学捕获等。

 

设计原理

P77-D7系列压电移相器采用直驱结构设计原理,可以实现50μm的位移行程。优异的柔性铰链导向机构采用有限元分析进行优化实现纳米级的分辨率、毫秒级的响应时间。

10V步进曲线

开环位移曲线

P77-D7为压电陶瓷驱动,而压电陶瓷具有迟滞与蠕变特性,产生的位移与驱动电压成基本的线性关系,但在动态快速步进中,将不受迟滞与蠕变的影响。

 

 

参数表

型号

P77-D7压电式移相器

单位

运动自由度

Z

 

行程范围

0~50

μm±20%

驱动电压

0~150

V

静电容量

5.4

μF±20%

负载能力

2

kg

尺寸(外径×高)

Ø105×72.5

mm

通孔尺寸

Ø65

mm

重量

1.1

kg

 

P77-D7尺寸图

 

推荐配套P77.D7控制器

E01.C1: 1路输出;上位机、模拟、旋钮控制; 开环; 平均电流291mA。

E53.A: 1路输出;模拟控制;开环;平均电流60mA。