详细信息

运动自由度

X

X

行程范围

13mm+28µm

13mm+28µm

粗调+精调

平直度

<3

<3

µm/13mm

重量

500

500

g±5%

壳体材料

钢

钢

外形尺寸（长×宽×高）

114×80×23

114×80×23

mm×mm×mm

手动调节部分-千分尺

粗调行程范围

13

13

mm

粗调分辨率（千分尺）

10

10

µm

导轨

交叉滚柱导轨

交叉滚柱导轨

驱动方式

螺纹副（分厘卡）

螺纹副（分厘卡）

千分尺灵敏度

<2

<2

µm

台面尺寸

65×65

65×65

mm×mm

千分尺读数

10

10

（微米/格）

千分尺螺距

0.5

0.5

mm/rev.

压电驱动精调部分-压电驱动

精调行程范围

0~120 V, Nominal

20

20

µm±20%

-20~150 V, Max

28

28

µm±20%

传感器类型

SGS

-

步进/分辨率

1.5

0.5

nm, typ.

闭环线性度(压电驱动)

0.2

-

%F.S.

重复定位精度

0.1

-

%F.S.

运动方向推力

20

20

N

刚度

2

2

N/µm±20%

承载能力（Z向）*

1000

1000

g

工作温度范围**

-20~80

-20~80

°C

静电容量

1.8

1.8

µF±20%

重量（含载物平台）

400

400

g±5%

出线长

1.5

1.5

m±10mm

传感/电压连接器

LEMO

LEMO