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XP-62X一维X向压电纳米定位台 15μm-60μmXP-62X系列压电纳米定位台是采用封装型压电促动器直接驱动，具有大承载、响应速度快、可靠性高和使用寿命长等优点。内置高分辨率SGS传感器进行全闭环运动控制，高谐振频率和大拉力使得该系列纳米定位台适用于精密加工等领域。

XP-62X一维X向压电纳米定位台 15μm-60μm

特性

• 大行程60μm • 亚毫秒响应时间 • 大承载10kg • 1~3维自由组合 • 重复定位精度可达0.05%F.S.

1~3维平移	产品外观	直驱机构式驱动示意图

大负载、高刚度、高谐振频率、高稳定性

传感器类型

频率负载曲线

XP-62X系列压电纳米定位台采用压电陶瓷直驱机构，优异的柔性铰链设计，具有高刚度、高频响等特点，刚度可达40N/μm，空载谐振频率高达4.2kHz，适用于需要大负载、高频率需求的应用，如电化学加工等。
XP-62X系列压电平台内置带有预紧力的封装型压电陶瓷，平台采用有限元建模分析、柔性铰链导向机构，无磨损、免维护，提供*的稳定性。该产品易于与其他宏动台产品集成配套，实现更大行程的精密定位。