P63.Z一维Z向压电纳米定位台 6.8μm价格
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详细信息

P63.Z一维Z向压电纳米定位台 6.8μm价格 P63.Z直驱压电平移台,是一维Z轴运动压电定位台,采用压电陶瓷直驱机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。


特性   P63.Z一维Z向压电纳米定位台 6.8μm价格

• 1~3维自由组合                   • 位移行程6.8μm                   • 亚毫秒响应时间                   • 承载0.8kg                   •  重复定位精度可达纳米级


小体积、高精度、响应速度快


传感器类型

频率负载曲线


P63系列压电纳米定位台重要的特点是精密且体积小巧,P63.Z一维的尺寸仅为30×30×24mm(X轴尺寸为30×30×21mm),易于集成到任何扫描仪器中。

P63系列纳米定位台是高精密纳米定位系统,是为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设计的,具有低惯性,响应时间可达0.3ms,可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。



 应用  

     • 光纤端面检测     • 纳米压印     • 纳米计量     •微操控       • 纳米光刻     •干涉法/ 扫描显微/纳米定位     •生物技术/半导体技术     •质量保证测试     •微加工/精密控制

 应用实例:纳米切削  

P63三维纳米定位台已经应用于基于SEM在线纳米切削平台切削力测试实验中。