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P11.XZ二维XZ向压电纳米定位台 100μm价格P11系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电平移台，P11.XZ为二维压电纳米定位台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体的结构设计，多维运动无耦合。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有控制精度，分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，压电定位台体积小、结构紧凑易于集成。

P11.XZ二维XZ向压电纳米定位台 100μm价格

大行程、闭环版本定位精度高、响应速度快

传感器类型

频率负载曲线

P11系列纳米定位台采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷作为驱动源，可以实现1~3维100μm的精密运动。

该系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本，闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈，配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列闭环压电控制器可以实时对位移进行精密调整，实现纳米级的精密定位控制。

P11系列压电纳米定位台的响应速度快，配套E52系列压电控制器可实现0.8ms的阶跃时间。