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三维XYZ向压电纳米定位台 6.8μm价格为小体积1~3维压电运动平台，平台内部采用无摩擦、无空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化，柔性导向系统具有非常高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有非常高的控制精度，分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，运动平台采用无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，且压电平台体积小巧、结构紧凑易于集成。

三维XYZ向压电纳米定位台 6.8μm价格

特性

• 1~3维自由组合                   • 位移行程6.8μm                   • 亚毫秒响应时间                   • 承载0.4kg                   •  重复定位精度可达纳米级

小体积、高精度、响应速度快		传感器类型	频率负载曲线
P63系列压电纳米定位台非常重要的特点是精度高、体积小巧，P63.XYZ三维压电运动平台的尺寸仅为30×30×42mm（一维X轴运动压电平台尺寸为30×30×21mm），易于集成到扫描仪器中。 P63系列压电纳米定位台是高精密纳米定位系统，是为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设计的，惯性低，响应时间可达0.3ms，可配置高精度闭环传感器进行高分辨率的高速扫描。