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P66.XYZ三维XYZ向压电纳米定位台 30μm价格直驱压电平移台，是三维XYZ轴运动压电定位台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。

特性   P66.XYZ三维XYZ向压电纳米定位台 30μm价格

• 位移30μm/轴                   • 电阻与电容传感器可选                  • 多维运动无耦合                  • 承载3.5kg

开环与闭环版本可选		传感器类型	频率负载曲线
P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本，闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（SGS），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。 传感器使用全桥配置以消除热漂移，使得该系列纳米定位台可以实现满行程0.05%的线性度与重复度。