三维XYZ向压电纳米定位台 37.5μm价格
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详细信息

三维XYZ向压电纳米定位台 37.5μm价格为二维XY、三维XYZ压电平台,P13.XYZ为三维压电纳米定位台,台体采用平行运动学机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,位移为 37.5μm/轴。开环闭环版本可供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。


特性 三维XYZ向压电纳米定位台 37.5μm价格

• 三维XYZ轴运动                   • 行程37.5μm                  • 体积小巧                   • 亚毫秒响应时间                   •  纳米级定位精度


小体积、无机械间隙、高分辨率


传感器类型

频率负载曲线


P13压电平移台适用于动态使用,是扫描应用的理想选择。




闭环阶跃稳定时间图

P13.XY闭环版本满行程的稳定时间约为30ms。

     应用

     • 2D扫描系统     • 光路调整     • 微操作     •原子力显微镜       • 纳米定位

     • 干涉法/ 扫描显微/纳米定位     •生物技术/半导体技术     •质量保证测试

     • 微加工/精密控制