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XP-611.XZ二维XZ向压电纳米定位台 100μm为二维X轴及Z轴运动压电平移台，采用机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷，可实现X轴及Z轴100μm 的位移行程，柔性铰链导向机构无摩擦、无后坐力。可选择闭环版本定位精度高，是二维精密定位与扫描的理想选择。

XP-611.XZ二维XZ向运动纳米平移台，产品体积小巧，结构紧凑，可通过与XP-611.Y(即XP-611.X)组合成三维平移台，是1~3维平面精密定位理想的选择。例如干涉光路长度校准、显微或扫描应用中的样品定位等。XP-611.XZ为压电驱动、无摩擦、柔性导向系统，实现纳米级分辨率和毫秒的响应时间。

特性 XP-611.XZ二维XZ向压电纳米定位台 100μm

• 二维XZ轴运动                   • 位移行程100μm                   • 小体积                   • 毫秒级响应速度                   •  纳米级定位精度

高稳定性、高谐振频率、体积小巧		传感器类型	频率负载曲线
XP-611系列压电纳米定位台采用机构放大设计原理，体积小巧、结构紧凑，XP-611.XZ的尺寸仅为 35×35×34.5mm，易于与其他设备集成安装。 该系列定位台采用机构放大原理，位移可达 100μm，空载谐振频率高、响应速度快，100μm的阶跃时间为0.8ms，该系列产品以其高可靠性，高性价比等特点深得工业型用户的青睐。