详细信息

P32三维θxθyZ向压电偏转镜 6mrad 37.5μm压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动元件，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，偏转镜具有较好的运动精度和高稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P32系列Z向/俯仰/偏转镜提供两轴的高速精密偏转运动及Z轴直线升降运动，直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度，响应时间可达毫秒量级。P32系列压电偏转镜体积小巧、结构紧凑，可实现6mrad偏转，Z轴37.5μm的直线运动。

特性 P32三维θxθyZ向压电偏转镜 6mrad 37.5μm

• θx,θy二维偏转及Z向升降运动，偏转角度25mrad，直线位移37.5μm • 闭环定位精度高 • 分辨率高 • 温度稳定性高 • 亚毫秒响应时间

高分辨率、高稳定性及动态性

结构原理

P32压电偏转镜体积紧凑，内部装配带有预紧的高可靠性压电促动器，集成在复杂的、FEA建模分析的柔性铰链导向系统。压电促动器是叠堆共烧型压电陶瓷，比传统的压电促动器提供好的性能及可靠性。

P32压电偏转镜采用基于平行运动学的压电陶瓷直驱式三脚架结构，数十亿次的运动周期操作而*或性能下降，非常适合工业应用。

三脚架结构设计在较大的温度范围内提供优化的角度稳定性。这种设计具有体积小巧、两轴具有相同的大小及动态性能、快的响应速度及好的线性度等优势，也防止了偏振旋转。

P32偏转镜是基于3个压电陶瓷机构设计而成的，由三支压电陶瓷驱动，以120°角平分放置，采用坐标变换，运动可以分不同机构之间控制。这种结构设计除了可实现平台的倾斜，也可实现平台Z向的直线移动，可以用于校正光学路径长度。其中， A、B、C表示测量的3点处位移量，两轴摆角及Z向位移的简便计算公式分别如下，

驱动控制

P32压电偏转台θxθy两轴采用90。相差输入，与Z向升降运动配合，再通过控制电压的大小，对一定的光路距离，可进行一定范围的锥形范围扫描，如下右图所示。