详细信息

P34二维θxθy向压电偏转镜 1.5/3/6mrad是以压电陶瓷作为驱动元件，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，偏转镜具有高的运动精度和稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P34二维θxθy向压电偏转镜 1.5/3/6mrad系列压电偏转镜是专为大直径镜片而设计，可加载直径达80mm的镜片，它的差分驱动在较大温度范围内表现出出色的角度定位稳定性。P34系列偏转镜允许顶部平台在具有共同枢轴点（并联运动）的两个正交轴上进行高动态精密偏转运动，多种镜片安装面可选，以获得对不同镜片材料的理想热适应。开环、闭环版本可供选择，所有版本都具有亚微弧度分辨率，且倾斜角度可达6mrad(等于光束偏转12mrad)。

特性

• θx,θy二维偏转，偏转角度6mrad • 闭环定位精度高 • 分辨率高 • 温度稳定性高 • 亚毫秒响应时间

高稳定性、线性度及动态性、使用寿命长

结构原理

芯明天压电俯仰/偏转镜系统是基于平行运动学设计，两个方向偏转运动共用同一个移动面。内部四个压电促动器是成对的差分控制，决定了平台俯仰/偏转运动。这使得P34压电倾斜镜在较大温差变化范围的环境中具有较好的角度定位稳定性。

内部采用芯明天叠堆型压电促动器可保证可靠性。特殊树脂绝缘使其可抵抗环境湿度及漏电流故障。所以在可靠性及寿命上远优于传统压电促动器。

偏转镜（两轴）是基于4个压电陶瓷结构设计而成，每轴采用两个压电陶瓷，以推拉模式形成偏摆运动，采用桥式连接电路控制。四个执行机构（压电促动器）以90°角平分放置，是成对的差异控制分布形式。

通过差分结构的设计可以在大范围的温度变化下保持良好的角度稳定性，这样就可以保证温度的变化仅能影响到平台的垂直方向定位，而对角度定位则没有影响，在闭环下，可以保证系统的线性度和分辨率。