详细信息

向压电偏转镜 3/6/9/12.5mrad压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动元件，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，偏转镜具有较好的运动精度和高的稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P33压电偏转镜是具有快速响应且体积紧凑等特点的偏转平台，提供顶端面的高精度角度运动，与其他执行器相比，柔性铰链导向的压电偏转平台可提供高的加速度，使阶跃响应时间在亚毫秒范围。闭环与开环版本具有6个不同的偏转范围，可达25mrad的光束偏转。

向压电偏转镜 3/6/9/12.5mrad

特性

• θx,θy二维偏转，偏转角度12.5mrad • 闭环定位精度高 • 分辨率高 • 温度稳定性高 • 亚毫秒响应时间

高动态、闭环版本精度高

结构原理

P33系列压电偏转镜采用了无摩擦、柔性铰链导向结构设计，绝缘压电陶瓷驱动，实现偏转范围12.5mrad，提供高的加速度，快速响应达毫秒量级或快。

在机械结构的合适位置采用测量的应变传感器来得到高稳定性及定位精度，他们提供了较高的带宽并向控制器发送定位反馈信号，传感器以桥式配置连接以消除热漂移从而优质的稳定性。

可带载镜片直径40mm，产品已成功应用于卫星激光通信等领域。

P33系列压电偏转镜的固定方式分底部固定及腰部固定，详见尺寸图。

偏转镜（两轴）是基于4个压电陶瓷结构设计而成，每轴采用两个压电陶瓷，以推拉模式形成偏摆运动，采用桥式连接电路控制。四个执行机构（压电促动器）以90°角平分放置，是成对的差异控制分布形式。

通过差分结构的设计可以在大范围的温度变化下保持良好的角度稳定性，这样就可以保证温度的变化仅能影响到平台的垂直方向定位，而对角度定位则没有影响，在闭环下，可以保证系统的线性度和分辨率。

驱动控制

P33压电偏转台θxθy两轴采用90^。相差输入，通过控制电压的大小，对不同的光路距离，可进行一定范围的圆形范围扫描，如下右图所示。

应用实例

激光通信技术由于其通信容量大、传输距离远、保密性好、抗干扰能力强等特点受到世界各国的重视，因为建立空天地海一体化通信网络势在必行，我国在激光通信技术领域已达到高水平，比如卫星激光通信、机载、舰载通信等，芯明天P33压电偏转镜系统已经成功应用于卫星激光通信及机、舰激光通信实验中。