压电螺钉运动平台
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  压电螺钉运动平台
 
  压电螺钉运动平台是将直线马达式压电螺钉与滑台相结合,采用压电螺钉的高精度运动控制滑台运动。多个运动平台间可通过组维方式形成二维或三维运动控制。