详细信息

闭环三维压电螺钉运动平台 特点：

XYZ三维运动

配有闭环增量式编码器

行程±12.5mm/轴

纳米级分辨率

精度达1.5μm

运动原理：XYZ65N81E26压电螺钉运动平台是采用压电螺钉驱动，压电螺钉的运动是通过内部压电陶瓷的微运动，驱动螺纹杆旋转，从而沿着螺纹向前运动。螺纹杆的推动，使得载物移动平台台面的直线运动。

闭环三维压电螺钉运动平台 技术参数：

产品设计的参数如下表所示。