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三维压电宏微复合平台

本次介绍的就是一款宏微复合跨尺度两级驱动的压电精密定位台，它的型号为H81A.XYZ20S/K。它可在XYZ三个方向产生运动，每轴千分尺行程为4mm，压电行程为18μm。实物外观如下图所示。

H81A.XYZ20S/K压电宏微复合平台的一端具有移动台面，台面尺寸为60mm×60mm，在移动台面上配有16个M3的负载安装孔。该平台固定于一个112mm×112mm的底座，在底座上具有8个φ8mm及3个φ6.4mm的通孔，以便于该压电宏微复合平台的固定安装。

H81A.XYZ20S/K压电宏微复合平台采用了手动千分尺调节，该千分尺的行程为4mm，单圈调节为500μm。

该宏微复合平台的压电驱动部分是由压电陶瓷来驱动，施加电压信号来控制。通过芯明天压电控制器对压电平台内部压电陶瓷施加电压信号，压电陶瓷产生相应的位移，再由柔性结构传递到移动台面，从而使得移动台面产生微纳米级的微位移运动。

该部分压电驱动的连接是通过引线及连接器将压电控制器与压电宏微复合平台相连的。该套压电系统的引线两端都采用连接器连接。

三维压电宏微复合平台 技术参数

E01.D3系列压电控制器驱动H81A.XYZ20S/K压电宏微复合平台的基本参数如下。