详细信息

本次给大家介绍一款电动压电螺钉调平台——ZT50N81K8，它是专为三轴调平而设计，具有三个直线促动点，通过二维θx、θy 偏转和 Z 向升降运动可对载物台进行调节，其主要的特点就是定位精度高，承载能力强，电动操作更便捷，因其高精度、可控性强、实用性高，因而广泛应用于科研、激光应用、工业自动化等领域。

ZT50N81K8压电螺钉调平台台面直径160mm，直线行程可达3mm，θx、θy 偏转角度为±1.5°，角分辨率可达0.3μrad，承载可达2kg，具有出色的长期稳定性，且能在断电情况下继续保持在设定位置，断电自锁。实物外观如下图所示。

产品特点

• 三维偏转运动

• 亚微弧度角分辨率

• 断电自锁

• 电动操作更灵活

产品应用

• 科学研究

• 光学

• 实验室系统结构搭建

• 三轴调平

• 晶圆调平

• 工业应用

技术参数

型号	ZT50N81K8
台面直径	160mm
运动自由度	θx、θy、Z
电动轴	3个
角度范围	±1.5°
直线行程	3mm
直线运动方向	Z
角分辨率	0.3μrad
承载能力	2kg
促动器	压电螺钉促动器
工作温度	10~40℃
重量	1800g
压电螺钉连接器	RJ11

半导体领域调平

ZT50N81K8以其高精度、大行程及多维运动，使其非常适用于半导体领域的调平，例如晶圆调平等。

配套控制器

芯明天E53.C4K压电控制器可用于驱动ZT50N81K8，采用24VDC供电，4通道版本可使用切换方式驱动4支压电螺钉，采用数字信号控制，与压电螺钉间可通过网口连接，且体积小、易集成。

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