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超低温真空无磁压电扫描台

由芯明天研发生产的XD106.XYZ60K压电扫描台是一款三维运动压电平台，它是专为超低温、真空及无磁环境应用而设计，可进行XYZ三维扫描运动，采用低温压电驱动，耐低温可达4K，它的体积小巧，尺寸仅39mm×39mm×35mm，中心通孔φ10mm，非常易于集成，外壳采用轻型耐低温、无磁材料，采用低温双绞线，以适应低温环境下的使用。

超低温真空无磁压电扫描台产品特点

· 低温真空无磁，耐低温可达4K

· XYZ三维运动

· 4K温度下位移达30μm/轴

· 分辨率可达2nm

· 开环运动控制

· 响应速度快

· 半导体检测

· 高精密测试和操作

· 其他真空无磁要求的纳米运动控制等