详细信息

N11系列直线压电马达采用粘滑原理，将 PZT 压电陶瓷的微运动转换为毫米级长行程。它的体积非常小巧，仅 15×15×7mm^3。而它的行程却可高达 3.6mm，非常适用于受限空间中毫米范围行程的调整应用。

产品特点

 行程可达 3.6mm

 一至三维可选

 体积小、重量轻

 速度可达 2mm/s

 断电自锁

产品应用

 超分辨成像样品移动

 微纳装备及制造

 扫描电镜（SEM）样品操纵

 纳米聚焦与扫描

 集成电路制造与检测

 显微及纳米 CT

 大范围电子束直写（EBL）

 高真空样品精度对准及调姿

N11系列直线压电马达