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N31系列三维压电马达

三维闭环压电马达可在XYZ三个方向运动，配备有增量式编码器进行闭环控制。内部采用PZT压电式驱动，每轴运动行程可选25、50、100mm，可达纳米级分辨率。

产品特点

 行程25、50、100mm/轴可选

 纳米级分辨率

 增量式编码器

 承载达2.5kg

产品应用

 超分辨成像样品移动

 微纳装备及制造

 扫描电镜（SEM）样品操纵

 纳米聚焦与扫描

 主动光学

 集成电路制造与检测

 显微及纳米CT

 大范围电子束直写（EBL）

 高真空样品精度对准及调姿

N31系列三维压电马达