H61.XYZTR1六轴压电偏摆台
H61.XYZTR0压电偏摆台可产生六轴的超精密运动用于静态六轴的直线纳米定位及角度纳弧度偏转,中心50mmx50mm的通孔,适于透射光应用。
特点
·六轴运动
·高承载能力
·正向静态使用
·可选配闭环传感器
典型应用
·六轴超精密位置调整
·棱镜位置调整
·光学应用
·透射光应用