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S51.ZT0SK-B1压电偏摆台

S51.ZT0SK-B1压电偏摆台是一款定制型压电偏摆台，可产生 θx、θy 两轴偏转及 Z 向直线运动，中心具有大型通孔，适于透射光等应用。

产品特点

 θx、θy 偏摆，Z 向升降

 闭环定位精度高

 响应速度快

 透光孔：200×200mm

 可选真空版本

产品应用

 扫描显微

 激光合束对准

 干涉 / 计量

 空间扰动模拟系统

 生物技术

 掩模与晶片位置调整