P60.Z500一维Z向压电纳米定位台
P60.Z500直驱压电平移台,是一维Z向运动压电定位台,采用压电陶瓷放大机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
产品特点
Z向位移500μm
可选闭环传感器
承载2kg
静电容量28.8μF
真空版本可选