P12.XY500Z800S/K 三维压电扫描台
P12.XY500Z800S/K 三维压电扫描台 产品特点
XYZ 三维直线运动
XY 行程 500μm,Z 向行程 800μm
适用于物镜的三维定位调节
可定制真空版本