P12A.XY200Z100 系列放大机构式压电扫描台
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P12A.XY200Z100 系列放大机构式压电扫描台



P12A.XY200Z100 系列放大机构式压电扫描台 产品特点： 全闭环，高精度； XYZ 三维运动； 行程可达 X200/Y200/Z100μm； 中心方形通孔 45×45mm； 真空版本可选；