XP-780一维X向压电扫描台
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XP-780一维X向压电扫描台 200μm 中孔25mm×25mm


XP-780一维X向压电扫描台 200μm 中孔25mm×25mm

XP-780系列压电扫描台采用机构放大设计原理,柔性铰链连接支撑传动,内部采用高可靠性压电陶瓷驱动,实现X轴200μm的位移,可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm的通孔,适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。

产品特点

 一维X向运动

 行程可达200μm

 承载可达5kg

 通孔尺寸:25×25mm

 闭环重复定位精度高

 开/闭环可选

 真空版本可选