XD107 系列压电扫描台 XYZ三维
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详细信息

XD107 系列压电扫描台 XYZ三维

XD107 系列压电扫描台 XYZ三维是三维运动的压电平台,它的中心具有方形通孔,适用于样品显微成像应用。

产品特点

 XYZ 向运动 

 具有大型中心通孔

 纳米级精度

 占用空间小,易于集成

产品应用

 扫描显微镜

 掩模 / 晶圆定位

 干涉、度量衡学

 生物技术

 微操作