XD107 系列压电扫描台 XYZ三维
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详细信息
XD107 系列压电扫描台 XYZ三维
XD107 系列压电扫描台 XYZ三维是三维运动的压电平台，它的中心具有方形通孔，适用于样品显微成像应用。
产品特点
XYZ 向运动
具有大型中心通孔
纳米级精度
占用空间小，易于集成
产品应用
扫描显微镜
掩模 / 晶圆定位
干涉、度量衡学
生物技术
微操作
